0000270367 00000 n 0000003674 00000 n 0000002586 00000 n %%EOF 0000016583 00000 n SEM(走査電子顕微鏡)とは電子線を用いて、数10倍~100万倍程度の表面の拡大像を取得できる顕微鏡です。電子線は可視光と比較すると非常に波長が短く、光学顕微鏡よりも微細な凹凸や組成分析が可能です。, 電子銃は光学顕微鏡の光源に相当する部分です。フィラメントの素材や電子の発生方法で、様々な特長の電子線を作ることができます。, 対物レンズは像の焦点を合わす最も重要なレンズです。試料を置く位置やポールピースの形状により、3種類の対物レンズに大別されます。, 像の見え方は加速電圧によって大きく異なります。加速電圧と試料の組成・密度・結晶方位により、一次電子線の電子散乱領域が異なるためです。軽元素よりも重元素のほうが、また同組成であれば加速電圧が低いほうが電子散乱領域は小さくなり、得られるSEM像は表面情報により敏感になります。低加速電圧にすることにより、高加速時には見えなった軽元素の微細な凹凸構造が観察できるようになります。, リターディング法(減速法)とは試料に負電圧を印可して、一次電子線を試料直前で減速させる方法です。例えば、一次電子線を電子銃部で5.0kVに加速し、試料に-4.0kVを印可すれば、一次電子線は負電圧の影響を受け、1.0kV(=5.0kV-4.0kV)のエネルギ-に減速されて試料に照射されます。この方法は、高加速電圧の条件で一次電子線が電子源から対物レンズまでを通過するため、電子銃部で1.0kVに加速するよりも収差が低減し、低い照射電圧(低加速の一次電子線)でも高分解能な観察を可能にします。, 電子線を試料に照射すると、二次電子や反射電子以外にも多くの信号情報が発生します。そこから特性X線分析(EDS・WDS)、後方散乱電子回折(EBSD)、電子線誘起電流(EBIC)などの様々な分析が可能となります。今回はSEMでよく使用されるエネルギー分散型X線分析(EDS)について説明します。, 電子線を試料に照射すると、X線が発生します。このX線を検出して元素情報を取得する装置が、エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 度6.0 Pa、放電電流値15 mA、ターゲットと試料との間隔を30mm 程度としスパッタ時間を5、10、20、30、 45 および60 秒とした。また、比較のためスパッタ未処理の試料も作製した。 3.2 試料の観察 作製した試料を日立S-4500にて観察を行った。 0000013208 00000 n 0000008599 00000 n 0000010877 00000 n 0000004494 00000 n 0000048823 00000 n

��. 68 60 13(2006 年8 月) - 10 - 2. 70 0 obj<>stream 0000006332 00000 n

0000054498 00000 n 低真空SEMの特長は非導電試料での無蒸着観察(含む分析)と若干の油分(水分)を含んだ表面観察が可能なことです。また、簡易試料凍結法1)、試料冷却法、との併用によりさらなる効果が期待できます。, 図 6 : 黄銅鉱のカラーマップ <<7f2c6f55186f174286f1b94266319772>]>> 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。, 操作性と拡張性を両立させ、

0000270165 00000 n 0000003758 00000 n 0000002047 00000 n 0000304241 00000 n 0000016727 00000 n 0000011852 00000 n 0000302673 00000 n 0000239521 00000 n このウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。, 高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に 0000026633 00000 n x�b```f````c`�icb@ !�;�f��eJ82~1�ih۽:��X�z��a��Y��X;1�rF�LVN�g�ȥ�)��o���$W���ه���f�Hl�M�Jyӻ"h���Q�i!�.&���~������r���jQhx,�dQ��G���T�R�P��X. 0000008278 00000 n endstream endobj 69 0 obj <��"��\r�U~�\r�A�\r�S�Ah�\r)/P -1340/R 3/U(P; ubp�֒�a��՚ )/V 2>> endobj 70 0 obj <><><>]>>/OCGs[72 0 R]>>/Type/Catalog/PageLabels 63 0 R>> endobj 71 0 obj <>/Encoding<>>>>> endobj 72 0 obj <>/PageElement<>/View<>/Print<>>>/Name(����\(�)/Type/OCG>> endobj 73 0 obj <>/ColorSpace<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text/ImageC/ImageI]/ExtGState<>>>/Type/Page>> endobj 74 0 obj <> endobj 75 0 obj <> endobj 76 0 obj <> endobj 77 0 obj <> endobj 78 0 obj <> endobj 79 0 obj [/Indexed/DeviceCMYK 251 119 0 R] endobj 80 0 obj [/Indexed/DeviceCMYK 255 121 0 R] endobj 81 0 obj [/Indexed/DeviceCMYK 250 123 0 R] endobj 82 0 obj <>stream 2gP���SN�G:�I�B�J��@��>zÈm�Q}����7����?O�ʝF� �*f�6��,�ϔ��Y!n\��FU�v~,��ۃg�����t�ܤ\H �����,�� 走査電子顕微鏡とは sem(走査電子顕微鏡)とは電子線を用いて、数10倍~100万倍程度の表面の拡大像を取得できる顕微鏡です。電子線は可視光と比較すると非常に波長が短く、光学顕微鏡よりも微細な凹凸や組成分析が可能です。 電子銃の構造 電子銃は光学顕微鏡の光源に相当する部分です。 trailer trailer 0000023981 00000 n 0000012184 00000 n 0000001779 00000 n

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